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Polishing Silicon Carbide Substrates
글쓴이 관리자 (IP: *.118.114.2) 작성일 2017-07-11 16:54 조회수 2,693

실리콘 카바이드는 wide band gap 반도체 재료에서 가장 유용한 것 중 하나로 등장하고 있습니다.  

높은 열 전도성과 녹는 점은 텔레비전 송신기와 같은 고성능 증폭 장치에 뛰어난 기판이 될 수 있게 해줍니다.

또한 실리콘 카바이드의 wide band gap은 눈에 보이는 스펙트럼의 고주파(“푸른색”) 부분에서

빛 방출에 적합합니다. SiC로 만든 푸른색 LED는 높은 대비를 만들기 때문에 푸른색 레이저의 성장을 위한

기판으로 사용됩니다. 이 process는 실리콘 카바이드의 큰 단결정을 성장시키기가 어렵고 비용이 많이 들어

제한적이었습니다.
또한 종종 마이크로 결함, 줄무늬, 기타 polytype을 포함하고 있어 polishing process를 어렵게 만듭니다.
Logitech은 polishing된 실리콘 카바이드 웨이퍼를 생산할 수 있는 시스템을 개발했습니다.

이 웨이퍼들을 에피택시 성장에 적합한 마무리로 전면부에서 polishing하여 높은 비용으로 만들어진 웨이퍼들을

다른 용도로 사용할 수 있도록 개선할 수 있습니다. 다른 용도를 위해 Logitech 시스템으로 웨이퍼의 균일성을

유지하면서 특정 두께로 웨이퍼를 얇게 만들 수 있습니다. 

 


 



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