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사파이어 웨이퍼 Backthinning
글쓴이 관리자 (IP: *.118.114.2) 작성일 2017-07-11 16:50 조회수 2,060

단결정 사파이어(Single crystal sapphire (Al2O3))는 광학 창과 레이저 부품을 만드는데 널리 사용되고 있습니다.  

또한 사파이어는 최근 푸른색 레이저 다이오드를 만드는데 사용하는 [0001] 표면에서

갈륨 나이트라이드 필름(gallium nitride film)의 성장을 위한 주요 기판 재료로 등장하고 있습니다.
사파이어 웨이퍼를 약 100 마이크론까지 backthining과 polishing을 하려는 실험실들이 늘고 있습니다.
Logitech은 얼마 동안 이 어려운 재료에 대한 process 시험을 수행했으며 현재 사파이어 웨이퍼를 성공적으로

가공하기 원하는 전문가들에게 제공할 수 있는 적절한 장비 시스템을 보유한 상태입니다. 

 


 



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